下载一种三端半导体器件及其制作方法的技术资料

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本发明提供了一种三端半导体器件及其制作方法,涉及半导体器件技术领域。所述三端半导体器件包括支撑层、设置在所述支撑层上的异质结、设置在所述异质结上的第一电极、第二电极和栅极;其中,所述第一电极和所述第二电极中至少一个包括:设置在所述异质结上的...
该专利属于广东省半导体产业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广东省半导体产业技术研究院授权不得商用。

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