温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备,该工件缓存装置挂设于设备前端模块的外壁上,与设备前端模块的内部空间连通,工件缓存装置包括承载组件、固定组件及外壳,其中,外壳与设备前端模块的外壁密封连接,其内部形成有可容置承载组件的容置...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备,该工件缓存装置挂设于设备前端模块的外壁上,与设备前端模块的内部空间连通,工件缓存装置包括承载组件、固定组件及外壳,其中,外壳与设备前端模块的外壁密封连接,其内部形成有可容置承载组件的容置...