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本发明提供一种工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备，该工件缓存装置挂设于设备前端模块的外壁上，与设备前端模块的内部空间连通，工件缓存装置包括承载组件、固定组件及外壳，其中，外壳与设备前端模块的外壁密封连接，其内部形成有可容置承载组件的容置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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