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半导体结构与半导体存储器制造技术
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下载半导体结构与半导体存储器的技术资料
文档序号:23764562
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本公开涉及存储器技术领域,关于一种半导体结构与半导体存储器。该半导体结构包括:衬底、隔离结构、字线沟槽及字线,隔离结构形成于所述衬底中,并在所述衬底中界定出多个有源区;字线沟槽形成于所述衬底与所述隔离结构上;字线设于所述字线沟槽中,所述字线...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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