下载一种埋入TSV转接芯片硅基扇出型三维集成封装结构的技术资料

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本实用新型公开一种埋入TSV转接芯片硅基扇出型三维集成封装结构,属于集成电路封装领域。所述埋入TSV转接芯片硅基扇出型三维集成封装结构包括硅基,所述硅基的第一面开有凹槽,所述凹槽中埋有芯片;所述芯片包括TSV转接芯片、TSV转接芯片和高密度...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十八研究所授权不得商用。

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