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披露了用于半导体器件的电子束检测设备和电子束检测组件。电子束检测设备包括：工作台，以顶面承载所述半导体器件且能够沿正交的两方向平移；瞄准装置，采集所述半导体器件的图像来确定所述半导体器件在所述电子束检测设备的坐标系中的位置，且具备第一视场和...
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