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一种集成电路,包括在相同基板上的栅极全环(GAA)纳米线晶体管及GAA纳米片晶体管。包括GAA纳米线晶体管的单元与包括GAA纳米片晶体管的单元所组成的阵列被提供。包括GAA纳米线晶体管的单元可相邻于包括GAA纳米片晶体管的单元,且有隔离结构...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种集成电路,包括在相同基板上的栅极全环(GAA)纳米线晶体管及GAA纳米片晶体管。包括GAA纳米线晶体管的单元与包括GAA纳米片晶体管的单元所组成的阵列被提供。包括GAA纳米线晶体管的单元可相邻于包括GAA纳米片晶体管的单元,且有隔离结构...