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本发明提供一种光掩膜补偿方法，包括：提供晶圆，所述晶圆具有第一掩膜图形、第二掩膜图形和第三掩膜图形，且所述第一掩膜图形、所述第二掩膜图形及所述第三掩膜图形分别具有第一位置度、第二位置度及第三位置度，定义所述第二位置度到所述第一位置度的向量为...
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