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一种用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置包括：密封壳体；电路板，设置于所述密封壳体内部；光电转换器件，为真空兼容型，设置于所述密封壳体外部；连接件，贯穿所述密封壳体，用于将置于所述密封壳...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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