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本发明公开具有双重型等离子体排出部的等离子体装置，包括：板形态的中心电极；板形态的电介质，以覆盖上述中心电极的两面的方式层叠于上述中心电极；板形态的第一外侧电极及板形态的第二外侧电极，上述第一外侧电极以与上述电介质平行的方式配置，上述第一外...
该专利属于韩国基础科学支援研究院所有，仅供学习研究参考，未经过韩国基础科学支援研究院授权不得商用。

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