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本发明实施例涉及半导体结构及其制造方法。根据本发明的一些实施例,一种半导体结构包括:底部端子;中间端子,其位于所述底部端子上方且通过高k介电层来与所述底部端子分离;顶部端子,其位于所述中间端子上方且通过所述高k介电层来与所述中间端子分离;以...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例涉及半导体结构及其制造方法。根据本发明的一些实施例,一种半导体结构包括:底部端子;中间端子,其位于所述底部端子上方且通过高k介电层来与所述底部端子分离;顶部端子,其位于所述中间端子上方且通过所述高k介电层来与所述中间端子分离;以...