下载一种新型半导体测试装置、测试系统及测试方法的技术资料

文档序号:23670627

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本发明公开了半导体生产领域内的一种新型半导体测试装置,包括设置在基板一侧的金属导电触片,所述金属导电触片的正面以及背面设置有若干根导线,所述金属导电触片包括导入结构,本发明使得其可以提高板阶可靠性测试的效率,从而实现自动化测试。...
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