温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种光刻胶供给管路清洗系统及方法，光刻胶供给管路清洗系统包括：清洗液瓶，用于盛放清洗液；清洗液瓶包括瓶体及瓶盖，瓶盖盖在所述瓶体的瓶口上；光刻胶供给管路，一端经由瓶盖插入至清洗液瓶内，另一端与喷嘴相连接；第一开关阀，位于光刻胶供给...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。