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本发明提供ＨＣＤ气体的除害方法及其装置。通过使含有六氯化二硅的废气（Ｌ）在不含有水分的情况下导入反应处理区域（Ｋ），向保持在六氯化二硅的分解温度的反应处理区域（Ｋ）供给含有若干水分的有氧气体（Ｇ），将六氯化二硅分解成盐酸、二氧化硅和水，在既...
该专利属于康肯科技股份有限公司;东亚合成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过康肯科技股份有限公司;东亚合成株式会社授权不得商用。

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