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打线接合装置制造方法及图纸
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下载打线接合装置的技术资料
文档序号:23632591
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本打线接合装置1包括毛细管6及在毛细管6的周围形成惰性气体区域S1的腔室单元4。腔室单元4具有右腔室区块11R、左腔室区块11L及使右腔室区块11R相对于毛细管6相对地移动的可动机构15。可动机构15将由右腔室区块11R及左腔室区块11L来...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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