下载打线接合装置的技术资料

文档序号:23632591

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本打线接合装置1包括毛细管6及在毛细管6的周围形成惰性气体区域S1的腔室单元4。腔室单元4具有右腔室区块11R、左腔室区块11L及使右腔室区块11R相对于毛细管6相对地移动的可动机构15。可动机构15将由右腔室区块11R及左腔室区块11L来...
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