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一种用于投射光刻中的成像光的光束引导的光学元件(M)。光学元件(M)包含一主体(18)和由主体(18)所承载的至少一个光学表面(19)。附接于主体(18)的至少一个补偿重量元件(20、23)用于由重力所引起的光学表面(19)的图形变形的重量...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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