下载电容器及其形成方法的技术资料

文档序号:23626600

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本申请的实施例提供一种电容器,包括:沿着第一方向延伸且位于基板中的至少一主要沟槽,以及沿着不同于第一方向的第二方向延伸且位于基板中的至少一次要沟槽。电容还包括:分离基板与多个电容板中的第一电容板的第一介电材料,以及分离第一电容板与此些电容板...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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