温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种字线驱动器及其制备方法，所述方法包括：提供一基底，在基底内形成有源区，且基底包含用于形成NMOS的第一区域与用于形成PMOS的第二区域，形成凹槽在第一区域的基底内，凹槽呈闭合环形，填充金属材料层在凹槽内，刻蚀金属材料层，至剩余...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。