下载具有用于应力的不同沟道几何形状的堆叠纳米线晶体管结构的技术资料

文档序号:23626390

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纳米线晶体管结构具有第一器件区域,第一器件区域具有包括半导体材料的第一主体,第一主体具有第一横截面形状。第二器件区域具有第二主体,第二主体具有与第一横截面形状不同的第二横截面形状。第一器件部分垂直地位于第二器件部分的上方或下方,其中主体在源...
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