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本发明是一种基板处理装置，对基板进行处理，所述装置包含以下要素，即为：分度区块，针对每个载具载置部具备分度机器人，所述分度机器人具有用以从所述载具载置部的载具取出基板且将基板收纳于所述载具载置部的载具的臂，且水平方向的位置固定；桥接区块，与...
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