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双垂直沟道晶体管、集成电路存储器及其制备方法技术
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文档序号:23607304
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本发明提供一种双垂直沟道晶体管、集成电路存储器及其制备方法,其垂直鳍片中具有沿第一方向延伸的第一沟槽,第一源/漏区形成在所述第一沟槽两侧顶部的鳍片中,第二源/漏区形成在所述第一沟槽底部的鳍片中,第一栅极结构填充在所述第一沟槽中并沿所述第一方...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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