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本发明提供一种对基板照射光来进行图案的描画的描画装置以及描画方法。描画装置的描画头(31)具备光源(32)、光调制器件(341)和投影光学系统(35)。来自光源(32)的光被引导至光调制器件(341)。投影光学系统(35)将由光调制器件(3...
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