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本发明涉及一种晶圆重定位方法，包括获取校准晶圆的第一标记晶粒的坐标和图像校准数据；根据所述校准数据，获取测试晶圆的第一近心焊盘的第一坐标信息；基于所述第一坐标信息，建立测试MAP图坐标系；根据所述校准数据、第一坐标信息和重定位晶圆的第二圆心...
该专利属于广西天微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西天微电子有限公司授权不得商用。

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