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本发明公开了一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法，太赫兹传感器，包括：基体和平行排列的若干线性传感器单元，每个传感器单元包括反射腔和填充于反射腔内的填充物，所述反射腔的端部设置有开口槽，反射腔的侧壁上附着金属反射层，所述所述填充物的折...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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