一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法，太赫兹传感器，包括：基体和平行排列的若干线性传感器单元，每个传感器单元包括反射腔和填充于反射腔内的填充物，所述反射腔的端部设置有开口槽，反射腔的侧壁上附着金属反射层，所述所述填充物的折射率为1‑10。该传感器可以增强太赫兹波与物质之间的耦合，提高传感器的品质因数与灵敏度。

A terahertz sensor based on cavity mode resonance and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法
本专利技术涉及超材料太赫兹传感器
，具体涉及一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法。
技术介绍
公开该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。腔模共振是指入射的光由于腔内表面的多次反射的相干增强，在腔中的波形成驻波模式的现象；当入射光频率与腔模共振频率相匹配时，形成腔模共振，此时入射光与物质产生强耦合，形成明显的电场集中，可以在其吸收光谱中观察到一个窄的选择性吸收带。其极低的光子损耗率和小的腔模体积器件有助于提高传感器性能。提高传感器性能的核心方法是利用不同的物理机制加强太赫兹波和分析物之间的光-物质相互作用，最近也有许多基于不同物理机制的传感器提出。开口环谐振器(SRR)在THz传感中得到了广泛的研究，主要是针对特定区域LC共振引起的强光-物质相互作用。为了克服超材料的辐射损耗，在THz传感中引入了非对称SRR，实现在极窄的光谱范围内大大提高了光的吸收。此外，双分裂环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：包括：基体和平行排列的若干线性传感器单元，每个传感器单元包括反射腔和填充于反射腔内的填充物，所述反射腔的端部设置有开口槽，反射腔的侧壁上附着金属反射层，所述所述填充物的折射率为1-10。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：包括：基体和平行排列的若干线性传感器单元，每个传感器单元包括反射腔和填充于反射腔内的填充物，所述反射腔的端部设置有开口槽，反射腔的侧壁上附着金属反射层，所述所述填充物的折射率为1-10。


2.根据权利要求1所述的基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：所述反射腔的深度为30～120μm，宽度为10～100μm，开口槽的深度为1～10μm，宽度为10～100μm。


3.根据权利要求1所述的基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：所述金属反射层的材质为Au、Al、Ag、Pt或Cu。


4.根据权利要求1所述的基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：所述金属反射层的厚度为40-60nm。


5.根据权利要求1所述的基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：所述填充物为乙醇、乙醚、酒精、甘油、四氯化碳、丙酮或水溶液。


6.根据权利要求1所述的基于腔模共振的太赫兹传感器，其特征在于：所述填充物的体积与反射腔和开口槽围成的空间的体积相等。


7.权利要求1-6任一所述基于腔模共振的太赫兹传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：时彦朋，刘自正，刘笑宇，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：山东;37