下载具有垂直扩散板的电容器结构的技术资料

文档序号:23580072

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一种电容器结构,包含:半导体衬底;所述半导体衬底中的第一垂直扩散板;所述半导体衬底中并且围绕所述第一垂直扩散板的第一STI结构;所述半导体衬底中并且围绕所述第一STI结构的第二垂直扩散板;以及所述半导体衬底中的离子阱。所述离子阱直接设置在所...
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