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本实用新型公开了一种真空磁控旋转双面镀膜夹具，包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置；所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体，固定在真空室腔体上的步进电机及其驱动装置，焊接在真空室腔体上的中空杆件。步进电机转轴上装有齿轮，齿轮与磁铁旋转套...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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