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提出一种用于操作集成MEMS麦克风设备(1)的方法。所述集成MEMS麦克风设备(1)包括包围内部腔(16)的封装壳体(10)，其中，在腔(16)内设置有具有可移动膜(19)的集成MEMS麦克风管芯(12)、至少一个环境传感器(13)和热去耦...
该专利属于AMS有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AMS有限公司授权不得商用。

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