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本文提供的是金属互连，其可以包括钴合金、镍合金、或镍。本文还提供的是制作金属互连的方法。金属互连可以包括阻挡和/或粘附层、籽晶层、填充材料、帽、或其组合，并且阻挡和/或粘附层、籽晶层、填充材料、或帽中的至少一个可以包括钴合金、镍合金、镍、或...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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