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提供了一种用于衬底处理系统的静电卡盘，并且所述静电卡盘包括底板；设置在所述底板上的中间层；和顶板。所述顶板经由所述中间层结合到所述底板上并且被配置成静电夹持衬底。所述顶板包括：单极夹持电极和密封件。单极夹持电极包括具有冷却剂气体槽开口组的槽...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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