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封装装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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下载封装装置以及半导体装置的制造方法的技术资料
文档序号:23564029
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一种封装装置,其将半导体芯片12接合于作为基板30或其它半导体芯片12的被封装体而制造半导体装置,所述封装装置包括:平台120,载置有所述基板30;封装头124,相对于所述平台120可进行相对移动,并将所述半导体芯片12接合于所述被封装体;...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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