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提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱动装置还包括：滑块，布置在基体上并被构造为在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上移动；以及气缸，布置在基体上并在第三...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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