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本发明提供一种刻蚀方法，包括：向反应腔室内通入第一催化气体、第二催化气体和工艺气体，使第一催化气体和第二催化气体均参与反应，以对待加工工件进行刻蚀；以及去除在待加工工件上形成的固态产物。本发明提供的刻蚀方法能够在刻蚀后，降低刻蚀量的差异，以...
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