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本发明提供一种托架机构及反应腔室，托架机构包括托盘和托架臂，其中，托盘用于承载遮蔽盘，且能移动至位于反应腔室内的基座上方的遮蔽位置，或者移动至远离基座的非遮蔽位置，托盘中设有第一冷却通道；托架臂与托盘连接，且托架臂中设有第二冷却通道，第二冷...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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