温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种用于磁控溅射设备的磁控溅射方法，磁控溅射设备包括驱动装置和磁控管组件，磁控管组件包括公转轴、自转轴和磁控管，驱动装置能驱动磁控管绕自转轴自转和/或驱动磁控管绕公转轴公转，其中，磁控溅射方法包括：步骤S1、驱动装置驱动磁控管旋...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。