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物体平台可以包括第一结构和相对于第一结构能够移动的第二结构。第二结构被配置为支撑物体。物体平台还包括能够移动地耦接到第一结构或第二结构、但不同时耦接到两者的密封板。并且所述物体平台包括至少一个致动器，其被配置成移动所述密封板，使得在所述密封...该专利属于ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司授权不得商用。