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用于三维存储器的单元电流测量制造技术
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下载用于三维存储器的单元电流测量的技术资料
文档序号:23516086
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一种用于测量三维存储器的存储单元电流的方法包括将第一测试电压施加到3D存储器件的外围电路的源极线焊盘,其中所述源极线焊盘电连接至3D存储器件的3D存储阵列的公共源极线,并且形成于第一衬底上的所述外围电路和形成于第二衬底上的所述3D存储阵列通...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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