温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种扫描式光刻胶涂布系统及方法，所述扫描式光刻胶涂布系统包括：用于放置待涂布晶圆的晶圆承载台；多孔式光刻胶涂布头，包括内部设有容纳腔的涂布主体和与容纳腔连通且位于涂布主体下方的喷嘴；用于驱动多孔式光刻胶涂布头在待涂布晶圆的上方沿...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。