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本发明涉及一种相位移光罩缺陷补偿方法、装置及相位移光罩，方法包括：根据提供的相位移光罩，获取相位移光罩的参数；根据相位移光罩的参数建立检测模型；通过检测模型结合照明条件以及晶圆的光刻胶性质，计算出相位移光罩中的相位移垫层图案上的缺陷区域；缺...
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