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包括绝缘层的半导体器件制造技术
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下载包括绝缘层的半导体器件的技术资料
文档序号:23498579
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一种半导体器件包括:在衬底中限定有源区的沟槽;在沟槽内有源区的底表面和侧表面上的第一绝缘层;第一绝缘层的表面上的屏蔽层,该屏蔽层包括多个间隔开的颗粒;屏蔽层上的第二绝缘层,其中捕获有第一电荷,该多个间隔开的颗粒被配置为集中极性与第二绝缘层中...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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