下载包括绝缘层的半导体器件的技术资料

文档序号:23498579

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一种半导体器件包括:在衬底中限定有源区的沟槽;在沟槽内有源区的底表面和侧表面上的第一绝缘层;第一绝缘层的表面上的屏蔽层,该屏蔽层包括多个间隔开的颗粒;屏蔽层上的第二绝缘层,其中捕获有第一电荷,该多个间隔开的颗粒被配置为集中极性与第二绝缘层中...
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