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本公开提供一种用于检测流体中所含的纳米颗粒的颗粒检测器。颗粒检测器包含衬底和设置于衬底上的至少一对感测电极。衬底包含纳米孔，其中纳米孔的孔径大于纳米颗粒的粒径，以允许流体中所含的纳米颗粒穿过纳米孔。至少一对感测电极邻接于纳米孔中的至少一个设...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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