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环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器制造技术
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文档序号:23403364
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环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有技术出光口存在工艺损伤,也不易与光纤、透镜等元件良好耦合,器件的散热效果也有待改善。本发明之激光器自上而下依次是上电极、欧姆接触层、上分布布拉格反射镜、氧化物限...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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