环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器制造技术

环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有技术出光口存在工艺损伤，也不易与光纤、透镜等元件良好耦合，器件的散热效果也有待改善。本发明专利技术之激光器自上而下依次是上电极、欧姆接触层、上分布布拉格反射镜、氧化物限制层、有源增益区、下分布布拉格反射镜、衬底、下电极；上电极、氧化物限制层的形状为内径相同的环形，所述环形的宽度为3μm～5μm，所述环形的外径为115μm～125μm；在下分布布拉格反射镜、衬底、下电极的中心部分存在一个圆柱形空心区域，所述圆柱形空心区域的顶面高度低于下分布布拉格反射镜的内镜面、高于下分布布拉格反射镜的外镜面，所述圆柱形空心区域的直径为85μm～95μm，在所述圆柱形空心区域中填充有高导热率焊料。

Vertical cavity surface emitting laser with distributed Bragg reflector in ring structure

【技术实现步骤摘要】
环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器
本专利技术涉及一种环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器，属于半导体激光器

技术介绍
空心激光束(HollowLaserBeam,HLB)是一种在传播方向上中心光强为零的环状光束，也称为空心光束或者暗中空光束(TakahiroKuga,YoshioTorii,NoritsuguShiokawa,etal.NovelOpticalTrapofAto6mswithaDoughnutBeam[J].PhysRevLett，1997,78:4713～4716)。换句话说，空心激光束是光轴光强为零的光束。空心光束具有一系列新颖独特的物理性质，例如桶状强度分布、较小的暗斑尺寸(DSS)和传播不变性以及具有自旋与轨道角动量等。空心光束作为激光导管、光学镊子(光钳)和光学扳手，成为实现微观粒子(如微米粒子、纳米粒子和生物细胞等)精确操纵和控制的有力工具。空心激光束应用在激光光学、二元光学、计算全息、微观粒子的光学囚禁、材料科学、生物医学等领域。在半导体激光器技术领域有一种垂直腔面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器，自上而下依次是上电极(1)、欧姆接触层(2)、上分布布拉格反射镜(3)、氧化物限制层(4)、有源增益区(5)、下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8)；上电极(1)、氧化物限制层(4)的形状为内径相同的环形，所述环形的宽度为3μm～5μm，所述环形的外径为115μm～125μm；其特征在于，在下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8)的中心部分存在一个圆柱形空心区域(11)，所述圆柱形空心区域(11)的顶面高度低于下分布布拉格反射镜(6)的内镜面、高于下分布布拉格反射镜(6)的外镜面，所述圆柱形空心区域(11)的直径...

【技术特征摘要】
1.一种环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器，自上而下依次是上电极(1)、欧姆接触层(2)、上分布布拉格反射镜(3)、氧化物限制层(4)、有源增益区(5)、下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8)；上电极(1)、氧化物限制层(4)的形状为内径相同的环形，所述环形的宽度为3μm～5μm，所述环形的外径为115μm～125μm；其特征在于，在下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8)的中心部分存在一个圆柱形空心区域(11)，所述圆柱形空心区域(11)的顶面高度低于下分布布...

【专利技术属性】
技术研发人员：晏长岭，杨静航，逄超，冯源，郝永芹，张剑家，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22