下载包括含硼绝缘图案的集成电路器件的技术资料

文档序号:23402605

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提供了集成电路(IC)器件。IC器件包括衬底,衬底包括有源区。IC器件包括衬底上的位线。IC器件包括连接在有源区与位线之间的直接接触部。IC器件包括衬底上的接触插塞。此外,IC器件包括在接触插塞和直接接触部之间的含硼绝缘图案。...
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