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提供载板的去除方法，能够容易地将载板从工件去除。该载板的去除方法从借助临时粘接层而设置在载板的正面上的工件去除该载板，其中，该载板的去除方法包含如下的步骤：第1保持步骤，利用第1保持构件对载板进行保持而使工件露出；阶梯差部形成步骤，从工件侧...
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