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本发明提供一种注入装置、三维存储器的制备装置及方法。注入装置包括依次设置的至少一个分流器，每个所述分流器中均设有通孔，所述注入装置包括入口以及与所述入口相对设置的出口，在所述入口到所述出口的方向上，所述通孔的数量逐渐增加。本发明解决了对形成...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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