下载被加工物的加工方法的技术资料

文档序号:23402492

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提供被加工物的加工方法,抑制产生被加工物的翘曲。在紫外线照射步骤中,在与背面磨削步骤的环境温度相比成为低温的状态下使液态的树脂硬化而形成树脂层(10)。在背面磨削步骤中,在提高树脂层(10)的温度之后,对晶片(1)进行磨削。在本加工方法中,...
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