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本发明提供一种机台控制系统及方法，该系统包括：下位机；上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，控制单元用于控制下位机执行所述机台的功能流程；服务配置单元配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元进行交互；功...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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