机台控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种机台控制系统及方法，该系统包括：下位机；上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，控制单元用于控制下位机执行所述机台的功能流程；服务配置单元配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元进行交互；功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与控制单元进行交互。机台控制系统及方法的技术方案，可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。

Machine control system and method

【技术实现步骤摘要】
机台控制系统及方法
本专利技术涉及机台控制领域，具体地，涉及一种机台控制系统及方法。
技术介绍
在当今的信息化时代，信息技术飞速发展，各种电子设备层出不穷，在满足人们生活需求的同时，也极大刺激了半导体行业的发展，对半导体工艺的刻蚀设备提出了更高的要求。在刻蚀机台的使用过程中，包含各种各样的功能，比如检查腔室漏率、手动执行干法清洗等，这些功能的具体内容或其内部的流程都是固化到刻蚀机台的控制软件中的，对于机台上的某一功能来说，此功能的具体执行方式由机台的下位机以流程的方式定义，然后下位机将此流程以服务的形式提供给上位机进行访问，上位机再设计具体的操作界面供用户执行流程使用。然而，当机台设备发生更新或是工艺方式发生改变时，机台控制软件也需要完成相应的更新才能保证机台的正常使用，而且整个机台需要等待软件更新完成之后才能正常使用，而这一更新过程延长了实现功能的时间，将可能浪费一定的人力和时间成本。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种机台控制系统及方法，其可以实现机台功能流程的可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机台控制系统，其特征在于，包括：/n下位机；/n上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，所述控制单元用于控制所述下位机执行所述机台的功能流程；所述服务配置单元配置有用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，且能够与所述控制单元进行交互；所述功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与所述控制单元进行交互。/n

【技术特征摘要】
1.一种机台控制系统，其特征在于，包括：
下位机；
上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，所述控制单元用于控制所述下位机执行所述机台的功能流程；所述服务配置单元配置有用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，且能够与所述控制单元进行交互；所述功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与所述控制单元进行交互。


2.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述上位机还包括自动编辑单元，所述控制单元通过所述自动编辑单元与所述服务配置单元进行交互。


3.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述上位机还包括自动管理单元，所述控制单元通过所述自动管理单元与所述功能流程单元进行交互。


4.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述功能流程单元存储文件的格式包括XML；和/或，所述服务配置单元配置文件的格式包括XML。


5.一种机台控制方法，其特征在于，采用权利要求1-4任意一项所述的机台控制系统对所述机台的功能流程进行编辑；所述机台控制方法包括：
根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目；
将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中；
在需要时开启所述功能流程单元，且使所述控制单元控制所述下位机执行存储的所述机台的功能流程的条目。


6.根据权利要求5所述的机台控制方法，其特征在于，在所述根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目的步骤之后，且在所述将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中的步骤之前，所述机台控制方法还包括：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：董祥威，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11