温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种提升晶圆边缘器件良率的方法，属于晶圆边缘器件领域。一种提升晶圆边缘器件良率的方法，以合成树脂配制光刻胶，从成膜树脂、光引发剂和交联单体三个方面出发，研究了各个因素对光刻胶感光性的影响。结果表明改性树脂配制的光刻胶的反差值为未...
该专利属于叶顺闵所有，仅供学习研究参考，未经过叶顺闵授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。