温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种光罩清洗系统及方法。光罩清洗方法包含旋转光罩、提供清洗液体以清洗光罩、在旋转光罩期间侦测光罩上的静电荷值以及根据侦测到的静电荷值来减少光罩上的静电荷。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。